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1、
提出一种新的步进扫描投影光刻机工件台方镜不平度测量方法.
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2、
提出一种步进扫描投影 光刻机 承片台不平度检测新技术.
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3、
真空吸盘真空度的测量使用扩散硅压力传感器，实时测量出真空度的大小，保证硅片在加工过程中可靠夹紧。
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- wafer test晶片试验
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- magnetic chuck电磁卡盘
- wheel chuck齿轮卡盘;阶梯弹簧夹头
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- chuck hydrant消防栓;
- chuck up the sponge承认失败， 认输， 投降;
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- as thin as a waferadv.极薄;
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